儀器廠商和型號

美國熱電（Thermo）NS7

JSM-6701F

儀器設備性能參數

FE SEM 性能指標：

分辨率: 1.0nm (15kV);2.2nm (1kV 時)

加速電壓: 0.5kV ~ 30Kv

放大倍數：×25 ~ ×650,000

束流范圍：10-13 ~ 2×10-9A

聚光鏡：兩級

樣品室: 最大可裝載直徑為150mm 的樣品

電子槍: 全自動圓錐形冷場發射槍

EDS 性能指標：

元素分析范圍: Be（4） ~U (92)

探測器晶體面積: 大于等于10 平方毫米

分辨率: 優于132 eV， Mn Ka 線>5000cps

分辨率高達4096×4096×16bit 的圖像采集和顯示

儀器設備功能用途

與掃描電鏡相比場發射掃描電鏡具有空間分辨率高，穩定性好，具有二次電子圖像分辨率高、放大倍數連續可調、景深大、組織形貌觀察與成分測定相結合、試樣制作簡單等特點。其配件X射線能譜儀具有微區分析功能，高靈敏度的探測器，高通量的全數字脈沖處理器和數字圖像，豐富強大的軟件功能。